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暖通環(huán)保
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一鍵式全自動快速橢偏儀采用工業(yè)化設計,操作簡單,可在幾秒鐘內完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于薄膜測量和器件質量控制的解決方案。
Alpha-Step D-500臺階儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。
Alpha-Step D-600臺階儀探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和光學系統(tǒng)以及加強視頻控制。
P-17臺階儀是臺式探針輪廓儀,是多年的表面量測經驗的結晶。支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,就可以獲得準確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學常數(shù)和其他薄膜特性。
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