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精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng):FR-ES 機(jī)型設(shè)計(jì)在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測(cè)量應(yīng)用:薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。

產(chǎn)品型號(hào):FR-ES

更新時(shí)間:2024-11-20

廠商性質(zhì):代理商

訪問(wèn)量:393

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品介紹

精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng) 

FR-ES:        精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng)

 

精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng) 

FR-ES 機(jī)型設(shè)計(jì)在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測(cè)量應(yīng)用:薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。有下列波長(zhǎng)范圍 FR-ES 配置可用:

VIS/NIR (380-1020nm), UV/NIR (200-850nm), UV/NIR-EXT (200-1000nm), UV/NIR-HR (190-1100nm) NIR-N1 (850-1050nm),

NIR (900-1700nm).

D VIS/NIR (380-1700nm)

 

        依照不同樣品形狀尺寸還有各種各樣的配件,例如

§       濾光片可阻擋某些光譜范圍內(nèi)的光

§       FR-Mic 提供微米級(jí)別區(qū)域進(jìn)行測(cè)量

§       手動(dòng)載物臺(tái),  100x100mm或 200x200mm

§       薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測(cè)量的薄膜/比色皿支架

§       積分球用于漫反射和全反射反射率測(cè)量

 

 

 FR-ES 規(guī)格(標(biāo)準(zhǔn)配置*

精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng)配件 

精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng) 

聚焦模塊

安裝在反射探頭上的光學(xué)模塊,用于直徑 <100μm 的光斑尺寸

透射率模塊

用于透射率/吸光度測(cè)量的光學(xué)模塊

膜厚/比色皿套件

標(biāo)準(zhǔn)比色皿中的薄膜或液體進(jìn)行透射測(cè)量

接觸探頭

曲面樣品的反射率和厚度測(cè)量

顯微鏡

具有高橫向分辨率的基于顯微鏡的反射率和厚度測(cè)量

手動(dòng)X-Y平臺(tái)

手動(dòng) X-Y 平臺(tái),用于測(cè)量 25x25mm /100x100mm / 200x200mm 區(qū)域

精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng)精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量特性分析系統(tǒng)* 規(guī)格如有變更,恕不另行通知; ** 厚度范圍取決于光譜范圍,是指硅基板上折射率約為 1.5 的單層薄膜  ** 與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 進(jìn)行比較的測(cè)量結(jié)果,15 天內(nèi)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值。樣品:Si  1μm SiO2,100 次厚度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)偏差。樣品:Si  1μm SiO2,2*15 天內(nèi)日平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。

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