Zeta-388白光共聚焦顯微鏡：Zeta-388 Optical ProfilerZeta-388支持3D量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot 技術，可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。

產品型號：Zeta-388

更新時間：2024-11-20

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產品介紹

Zeta-388支持3D量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot技術，可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學系統(tǒng)、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發(fā)及生產環(huán)境。

產品描述

Zeta-388光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能，并增加了晶圓盒至晶圓盒機械臂，可實現(xiàn)全自動測量。該系統(tǒng)采用ZDot技術和Multi-Mode (多模式)光學系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學量測技術。ZDot測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-388也是一款顯微鏡，可用于樣品檢查或自動缺陷檢測。Zeta-388通過提供臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產環(huán)境。