薄膜厚度測(cè)量?jī)x-膜厚儀結(jié)合顯微鏡的薄膜測(cè)量系統(tǒng)

Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系統(tǒng)                                  Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系統(tǒng)

Filmetrics薄膜厚度測(cè)量?jī)x-膜厚儀的精密光譜測(cè)量系統(tǒng)讓用戶簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)，通過(guò)對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。

當(dāng)測(cè)量需要在待測(cè)樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行，或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時(shí)，可以使用F40。使用先前足部校正顯微鏡的物鏡，再進(jìn)行測(cè)量，即可獲得精準(zhǔn)的厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過(guò)Filmetrics的C-mount連接附件，F(xiàn)40就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭，可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測(cè)量位置。

相關(guān)應(yīng)用

半導(dǎo)體制造                              生物醫(yī)學(xué)原件

• 光刻膠                              • 聚合物/聚對(duì)二甲苯

• 氧化物/氮化物                          • 生物膜/球囊壁厚度

• 硅或其他半導(dǎo)體膜層                      • 植入藥物涂層

微電子                                液晶顯示器

• 光刻膠                              • 盒厚

• 硅膜                                • 聚酰亞胺

• 氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡                    • 導(dǎo)電透明膜