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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心暖通環(huán)保檢測儀Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀
產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-11-20
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:248
4006981718
產(chǎn)品分類
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偏光(污漬、薄膜不均勻性)
坡度(劃痕、表面形貌)
反射率(內(nèi)應(yīng)力、條紋)
暗場(顆粒、夾雜物)
1.透明基底上的缺陷
2.單層污漬或薄膜不均勻性
3.化合物半導(dǎo)體的晶體缺陷
在化合物半導(dǎo)體基底和外延生長層上檢測和分類多種類型的晶體缺陷
缺陷類型
薄厚基板
透明和不透明基板
電介質(zhì)涂層
金屬涂層
鍵合硅片
開發(fā)和在線生產(chǎn)
AT1 軟件使用來自多個(gè)探測器任意組合的數(shù)據(jù)生成缺陷圖和報(bào)告:
地圖和位置
缺陷數(shù)量
彩色編碼缺陷
缺陷尺寸
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