激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。

產(chǎn)品型號：OLS5100

更新時(shí)間：2024-11-16

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激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。

激光共焦顯微鏡主機(jī)

型號		OLS5100-SAF	OLS5100-SMF	OLS5100-LAF	OLS5100-EAF
總倍率		54x–17,280x
視場		16 µm–5,120 µm
測量原理	光學(xué)系統(tǒng)	反射式共焦激光掃描激光顯微鏡反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡顏色彩色DIC
	光接收元件	激光：光電倍增管（2通道）彩色：CMOS彩色相機(jī)
高度測量	顯示分辨率	0.5 nm
	動態(tài)范圍	16位
	重復(fù)性σn _-1^{1 2 *5}	5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm
	準(zhǔn)確度^{1 3 *5}	0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]）
	拼接圖像準(zhǔn)確度^{1 3 *5}	10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])
	測量噪聲（Sq噪聲）^{1 4 *5}	1 nm（典型值）
寬度測量	顯示分辨率	1 nm
	重復(fù)性3σ_n-1 ^{1 2 *5}	5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm
	準(zhǔn)確度^{1 3 *5}	測量值+/- 1.5%
	拼接圖像準(zhǔn)確度^{1 3 *5}	10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長度[mm]）
單次測量時(shí)最大測量點(diǎn)數(shù)量		4096 × 4096像素
最大測量點(diǎn)數(shù)量		3600萬像素
XY載物臺配置	長度測量模塊	•	不適用	不適用	•
	工作范圍	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動	300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動	100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動
最大樣品高度		100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)	30 mm (1.2 in.)	30 mm (1.2 in.)	210 mm (8.3 in.)
激光光源	波長	405 nm
	最大輸出	0.95 mW
	激光等級	2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源		白光LED
電氣功率		240 W	240 W	278 W	240 W
質(zhì)量	顯微鏡主體	約 31 kg	約 32 kg	約 50 kg	約 43 kg
	控制箱	約 12 kg